در تولید قطعات بسیار ریز، کلیه ابزارها و فرآیندهایی که مورد استفاده قرار میگیرند به عنوان ” فرآیندهای دقت بالا” دسته بندی می شوند، که شامل میکرو میلینگ و فرآیندهایی بر پایه ماشین کاری سیلیکونی( که به طور معمول در صنایع الکترونیک وجود دارد) و نیازمند یک محیط با اتمسفر کنترل شده هستند.